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       真空腔体的压力控制系统是维持内部真空状态的关键组成部分。压力控制系统通常由真空泵、压力传感器和控制器等组成。

       真空泵是压力控制系统中的核心设备，它的作用是将内部的气体抽出，以降低内部的压力。根据不同的应用需求，可以选择不同类型的真空泵，如机械泵、干泵、油泵等。机械泵通常采用旋转叶片或活塞式结构，可以将气体从腔体中抽出。干泵和油泵适用于对清洁度和精度要求较高的应用场景。

       压力传感器用于监测真空腔体内的压力。它能够将压力信号转换成电信号，再传输给控制器进行处理和调控。常见的压力传感器有电阻式、电容式和压电式等，可根据不同的测量范围和精度要求进行选择。

       控制器能够根据压力传感器的信号对真空泵进行控制，以维持内部的真空状态。控制器通常具备手动和自动控制模式，手动模式允许操作人员根据需要手动调节真空泵的工作状态，而自动模式则能够根据预设的压力值对真空泵进行自动调控。

       在压力控制系统中，还需要考虑保护装置的设置。例如，当真空腔体内的压力低于预设的下限值时，控制器应该能够自动关闭真空泵以免设备损坏。同时，为了确保系统的稳定性，需要对压力控制系统进行定期的维护和校准。