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       特材真空腔体是保持里面为真空状态的容器，真空腔体的制作要考虑容积、材质和形状。　
       不锈钢是目前真空系统的主要结构材料。其中300系列不锈钢是含Cr10%～20%的低碳钢，具有优良的抗腐蚀性、放气率低、无磁性、焊接性好、导电率和导热率低、能够在-270～900℃工作等优点，在高真空系统中，应用广。      　　
       近年来，为了减少它的制作成本，采用铸造铝合金来制作腔体也逐渐普及。另外，采用钛合金来制作用途真空腔体的例子也不少。  　　
       为了减小腔内壁的表面积，通常用喷砂或电解抛光的方式来获得平坦的表面。它的腔体，较多的是利用电解抛光来进行表面处理。  　　
       焊接是其制作中重要的环节之一。为不让空气中熔化的金属和氧气化学反应从而影响焊接质量，通常采用氩弧焊来完成焊接。氩弧焊是指在焊接过程中向钨电极周围喷出保护气体氩气，以免熔化后的高温金属发生氧化反应。  　　
       它的氩弧焊接，原则上要采用内焊，即焊接面是在真空一侧，以免存在死角而发生虚漏。真空腔体不允许内外双重焊接和双重密封。    　　
       它的内壁表面吸附大量的气体分子，成为影响真空度的放气源。为实现高真空，要对腔体进行150～250℃的高温烘烤，以促使材料表面和里面的气体尽快放出。烘烤方式有在腔体外壁缠绕加热带、在腔体  外壁固定铠装加热丝或直接将腔体置于烘烤帐篷中。比较经济简单的烘烤方法是使用加热带，加热带的外面再用铝箔包裹，以免热量散失的同时也可使腔体均匀受热。  　　

       实验室的真空腔体烘烤时的真空度变化结果，烘烤采用缠绕加热带的方式。当真空度达到约10-3 Pa时，开始给加热带逐渐通电加热，保持腔体在150℃下进行长时间烘烤。烘烤过程中关闭离子泵，同时也给离子泵通电进行加热烘烤，这时它只靠分子泵和前级泵来排气。随着腔体温度的升高，腔内表面吸附的水蒸气等气体分子大量放出，真空度会恶化。气体的放出量随着烘烤时间的增加而逐渐减少，因此真空度也逐步好转。停止烘烤时，切断加热带和离子泵的烘烤电源，然后趁腔体仍处在高温的状态下对钛升华泵进行除气处理。钛升华泵的除气处理是指给Ti丝通电加热，但又控制温度在Ti升华温度之下的操作。钛升华泵除气处理的目的是清掉吸附在Ti丝表面的气体分子以及其他可能的污染物，以让钛升华泵的正常工作。完成钛升华泵的除气处理之后，启动离子泵和钛升华泵，增加真空排气的力度。随着排气力度的增加和由于腔体温度减少而放出气体的减少，系统的真空度会好转。    　　
       新完成的腔体烘烤时，一般需要一周时间，重复烘烤后单独的烘烤时间可以适当减少。为了准确地测量真空度，停止烘烤后也应该对真空计进行除气处理。如果真空泵能力足而且烘烤时间足的话，烘烤后真空度可上升几个数量。  　　
       一个气压在1cm2的面积上产生约1kgf的压力，对直径20cm的法兰来讲，就是1t的压力。圆筒或球形的腔体，由于构造的不同性使得压力分散，腔体的壁厚2～4mm就不会变形。但是，对于方形腔体，侧面的平板上要承受上吨的压力，要通过增加壁厚或设置加强筋，才能不会变形。方形腔体一般情况下要比筒形和球形腔体重，而且价格高。所示为几种代表性的真空腔体，分别为筒形、球形和方形。    
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